掩膜防护膜（Pellicle）是贴附于光刻掩膜版表层的超薄透明保护组件，由高透光薄膜与支撑框架共同构成。它能够阻隔粉尘、颗粒污染物直接接触掩膜图形区，让落在膜面的微粒脱离光刻焦平面，降低晶圆、显示面板的成像缺陷，保障光刻良率稳定。按照光刻波长与应用场景划分，产品包含DUV掩膜防护膜、EUV掩膜防护膜、FPD掩膜防护膜等品类，广泛服务于逻辑芯片、存储芯片、显示面板生产环节。据QYResearch调研数据预测，2032年全球掩膜防护膜市场规模将达到15.98亿美元，2026-2032年年复合增长率CAGR为7.8%，先进制程迭代是拉动行业扩容的核心底层逻辑。市场增长的第一重驱动力来自高数值孔径EU ......
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